Wie auch bei den höchstauflösenden Rasterelektronenmikroskopen von JEOL gehen Sie auch bei FIB-Systemen keine Kompromisse zwischen Höchstauflösung und Analytik ein: Von der Defektanalyse in der Halbleiterindustrie über die Lamellenpräparation für die Transmissionselektronenmikroskopie bis hin zur 3D-Rekonstruktion biologischer Proben unter Kryo-Bedingungen – Robuste FIB-Systeme von JEOL unterstützen Sie bei sämtlichen präparativen und analytischen Fragestellungen.
Moderne Lackierungen sind in der Regel als Mehrschichtsystem ausgeführt. Bei makroskopisch sichtbaren Lackfehlern ist es von großer Bedeutung, die Schicht zu ermitteln, in der die Ursache des Fehlers liegt. Unsere Systeme erlauben auf einfache Weise den Querschnitt der Lackschichten zu untersuchen.
Querschnitt einer lackierten Metalloberfläche. Durchmesser des Einschlusses ca. 10µm.
Bildquelle: JEOL Ltd. / Broschüre CP
Integrierte Schaltungen und Bauteile der Elektronikindustrie müssen durch Drähte kontaktiert werden. Das Versagen dieses Interfaces ist eine der häufigsten Ausfallursachen für diese Bauteile. Zur Charakterisierung der Qualität dieses Interfaces ist eine zielgenaue Querschnittspräparation ohne jede thermo-mechanische Belastung des Drahtes notwendig. Die von JEOL hergestellten Systeme erlauben eine schnelle, einfache und artefaktfreie sowie zielgenaue Präparation und detaillierte Charakterisierung dieser Grenzfläche.
Querschnitt durch den Bond-Pad einer Leuchtdiode.
Bildquelle: JEOL (Germany) GmbH
Zur hochaufgelösten Abbildung und Analytik biologischer Proben in einem Elektronenmikroskop müssen gesonderte Präparationsmethoden angewandt werden. Gerade Nahrungsmittel bzw. deren Komponenten lassen sich nur durch aktive Kühlung artefaktfrei darstellen. JEOL Elektronenmikroskope sind daher serienmäßig für die Installation von Kryo-Systemen vorbereitet, sodass empfindliche Proben extern präpariert, gekühlt transferiert und schließlich im Kryo-Betrieb untersucht werden können.
Elektronenmikroskopische Abbildung von Milchpulver
Bildquelle: JEOL (Germany) GmbH, DIL Quakenbrück
Um die mechanischen Eigenschaften eines metallischen Gefüges zu definieren, wird das Bilden von Ausscheidungen gezielt eingesetzt. In Form von Verunreinigungen können diese jedoch auch unerwünscht sein. Um die Qualität einer Legierung beurteilen zu können, müssen die Morphologie sowie die chemische Zusammensetzung der Ausscheidungen bestimmt werden. Zu diesem Zweck bietet JEOL allumfassende Komplettlösungen, von der artefaktfreien Probenpräparation bis zur hochaufgelösten Analyse von der µm bis nm Ebene an.
Elementverteilungsbild einer Messinglegierung
Bildquelle: JEOL (Germany) GmbH
Metallpulver werden unter anderem bei der Herstellung von Metallkeramiken verwendet. Hierbei spielen die Dichte und der Aufbau des Pulvers eine tragende Rolle. Mit JEOL Mikroskopen ist es möglich, Struktur und Materialzusammensetzungen bis ins Detail darzustellen. Hierfür bietet JEOL eine etablierte und leistungsfähige Komplettlösung zur einfachen, artefaktfreien Präparation und höchstauflösenden Abbildung und Analytik.
REM- Abbildung eines metallischen Pulvers
Bildquelle: JEOL (Germany) GmbH
Moderne Lackierungen sind in der Regel Mehrschichtsysteme. Bei makroskopisch sichtbaren Lackfehlern ist es von großer Bedeutung, jene Schicht zu ermitteln, in welcher die Ursache des Fehlers liegt. Die Präparationssysteme von JEOL ermöglichen die einfache und reproduzierbare Herstellung von artefaktfreien Querschnitten.
Querschnitt einer lackierten Metalloberfläche. Durchmesser des Einschlusses ca. 10µm
Bildquelle: JEOL Ltd., Broschüre CP
Fasern werden in vielen Industriezweigen eingesetzt, bspw. in der Textilverarbeitung oder als Konstruktionswerkstoff im Maschinenbau. Ihre strukturellen Eigenschaften lassen sich beispielsweise anhand eines Faserquerschnittes studieren. Hierfür bietet JEOL eine etablierte und leistungsfähige Komplettlösung zur einfachen, artefaktfreien Präparation und höchstauflösenden Abbildung und Analytik.
REM-Abbildung eines Querschnitts durch ein Faserbündel
Bildquelle: JEOL Ltd., Broschüre Ion Slicer
In modernen Halbleiterbauteilen müssen komplexe, funktionelle Strukturen auf immer kleinerem Raum realisiert werden. Um Fehler zuverlässig zu lokalisieren und identifizieren zu können, ist eine genaue Analyse des Aufbaus und der Elementverteilung zwingend erforderlich. Mit den automatisierten Systemen von JEOL lassen sich Halbleiterbauteile zielgerichtet mit höchster Genauigkeit präparieren, abbilden und auf Fehler hin analysieren.
3-dimensionale Elementverteilung einer NAND-Schaltung
Bildquelle: JEOL Ltd., Broschüre/Präsentation JEM-2800
Mineralien sind häufig als komplexe Strukturen aus einer Vielzahl von Elementen aufgebaut. Zur ortsaufgelösten Visualisierung der chemischen Zusammensetzung stellen Elementverteilungsbilder eine der wichtigsten Methoden dar. Mit Hilfe dieser Verteilungsbilder werden essentielle Informationen wie z.B. die Entstehung und die Struktur der zu untersuchenden Probe gewonnen. Für diese Aufgabe liefert JEOL die stabilsten sowie energetisch und räumlich höchstauflösenden Spektroskopie-Systeme.
Elementverteilungsbilder eines Symplektit-Schliffes
Bildquelle: JEOL (Germany) GmbH, Demoreport Uni. Wien (JXA)
Viele Materialsysteme werden heutzutage funktionalisiert. Maßgeschneiderte Eigenschaften wie z.B. Abriebfestigkeit, Farbe oder chemische Widerstandsfähigkeit werden durch Ausbildung von Mehrschichtsystemen auf Substraten erreicht. Die von JEOL hergestellten Systeme erlauben es auf einfache Weise diese Schichtsysteme zu Untersuchen. Hierbei bietet JEOL Komplettlösungen von der artefaktfreie Präparation bis hin zur automatisierten und reproduzierbaren Extraktion relevanter Parameter wie Schichtdicke oder -rauheit.
Schichtsystem auf metallischem Substrat
Bildquelle: JEOL (Germany) GmbH